Die hochwertigen ‚Saphir‘- Bauteile von Kyocera unterstützen die Grundlagen der Elektronik und Flüssigkeitsanalytik
Die Bonding-Technologie des Saphir ermöglicht die Nutzung dank der chemischen Beständigkeit, der hohen Stärke, der Plasmaresistenz und der Lichtdurchlässigkeit dieses Materials für den Einsatz in Hochtechnologie-Anwendungen.
- Feinkeramik-Komponenten
Kyoto/Neuss - Mit mehr als sechs Jahrzehnten Erfahrung bei der Entwicklung und Herstellung von innovativen Materialien und Technologien hat Kyocera eine Direktbondingtechnologie entwickelt, durch die Saphir mit Saphir oder Saphir mit Aluminiumoxid verklebt werden kann. Dies ermöglicht die Herstellung von Produkten, die die vorteilhaften Eigenschaften von Saphir, zum Beispiel die chemische Beständigkeit, die hohe Stärke, die Plasmaresistenz und die Lichtdurchlässigkeit nutzen und gleichzeitig die Gestaltungsfreiheit bieten, um Strukturen zu erschaffen, die in ihrem Inneren die Bewegung von Elektronen und Flüssigkeiten ermöglichen. Diese Produkte werden in verschiedenen Bereichen wie der Herstellung von Halbleitern, der Analyse von Bio-Flüssigkeiten und in der angewandten Physik verwendet.
Beispiele für Produkte, die mit direktem Bonding hergestellt wurden
1. Durchflusszelle
Eine Durchflusszelle ist eine Struktur mit lichtdurchlässigen Kanälen, die es Flüssigkeiten und Gasen ermöglicht, hindurch zu fließen und gleichzeitig optisch auf Unreinheiten zu prüfen. Die Zellen sind üblicherweise korrodierenden Chemikalien ausgesetzt, sodass die Verwendung von Saphir aufgrund seiner hohen korrosionsbeständigen Eigenschaft empfohlen wird. Außerdem ermöglicht es die Lichtdurchlässigkeit von Saphir, dass Licht durchscheinen kann und so eine optische Prüfung auf Unreinheiten erfolgen kann. Diese Durchflusszellen werden für die Partikelprüfung im Halbleiter-Reinigungsprozess, der Blutprobenanalyse, der molekularen Struktur feiner Substanzen usw. eingesetzt.
2. Rohre
In Analysegeräten und Halbleiterherstellungsausrüstungen wird ein elliptisches Rohr aus Saphir eingesetzt, das den Strömungsweg korrosiver Gase ermöglicht. Hier können verschiedene Gase verwendet werden, da die hohe Korrosionsbeständigkeit von Saphir zum Tragen kommt. Außerdem kann Plasma direkt im Rohr generiert werden, indem die hohe Isolations- und niedrige dielektrische Verlusteigenschaft für eine hohe Frequenz ausgenutzt wird.
3. Fenster
Aufgrund der Lichtdurchlässigkeit von Saphir in einem umfassenden Wellenlängenbereich von Ultraviolett zu Infrarot ist es geeignet zur Herstellung von Sichtfenstern. Da die Stärke von Saphir höher ist als von anderen lichtdurchlässigen Materialien wird die Flexibilität beim Design von Fenstern erleichtert. Zusätzlich kann es aufgrund seiner Plasma- und Korrosionsbeständigkeit in verschiedenen Prozessen in der Halbleiterherstellung und der Produktion von Flüssigkristallpaneelen genutzt werden.
4. Elektronenstrahl-Wellenleiter
Bei diesem Produkt handelt es sich um eine lange Platte mit einem internen Strömungskanal, die in Elektronenbeschleunigern verwendet wird. Diese langen Röhren können mithilfe der Saphir-Bondingtechnologie geformt werden und sind hochgradig luftdicht, sodass sie in einem Vakuum verwendet werden können. Elektroden können an der Peripherie angebracht und als Beschleuniger für Elektronenstrahlen verwendet werden.
5. Mikrokanal
Dieses Produkt wird durch das Verbinden einer Keramik mit einem eingebauten Kanal und einer Saphir-Abdeckplatte geformt. Flache Kanäle von mehreren hundert Nanometern können auf der Keramikoberfläche geformt werden. Das Produkt wird verwendet für Beobachtungen der Reaktion flüssiger Proben und zur Analyse von Spurenstoffen. Aufgrund des hohen Korrosionswiderstands kann es für alle Chemikalien verwendet werden. Der Strömungsweg der Flüssigkeiten kann ebenfalls durch Entwerfen des Kanals in der erforderlichen Form beobachtet werden.